The object of research, development or design (in Russian) : нано/микро-рельефы на различных поверхностях

The object of research, development or design (in Kazakh) : әртүрлі төсемдерде нано/микроэлементтер

Aim of work (in Russian) : Создание нано/микро-рельефов на поверхности слитков, монет и украшений из драгоценных металлов (золото, серебро, и др.) в виде голографических структур для придания изделиям усиленных защитных и эстетически-привлекательных свойств

Aim of work (in Kazakh) : Зерттеудің мақсаты қорғаныс және эстетикалық қасиеттерін арттыру мақсатында қымбат бағалы металдардан (алтын, күміс және т.б.) жасалған құйма, монеталар және зергерлік бұйымдар бетіне нано/микро өлшемді рельефтерді голографиялық құрылымдар түрінде жасау болып табылады

Методы исследования (на русском) : В ходе работы были использованы комплексные подходы, сочетающие такие хорошо апробированные методы, как оптическая микроскопия, электронная микроскопия, атомно-силовая микроскопия.

Методы исследования (на казахском) : Жұмыс барысында бұрыннан қолданылып жүрген кешенді зерттеулер жүзеге асырылған: оптикалық микроскопия, электрондық микроскопия, атомдық күшейткіш микроскопия.

Obtained results and novelty (in Russian) : Предлагаемый метод электронной и ионной литографии для нанесения радужных голограмм характеризуются высокой производительностью, лучшим разрешением и низкой стоимостью в зависимости от механического вдавливания твердого штампа, который делает только 7-10 отпечатков и далее не используется. В процессе работы проводились экспериментальные исследования посредством переноса нанорельефа на различные поверхности. Изучено воздействие электронного пучка на резист ПММА и выявлены дозовые характеристики, которые позволяют оптимизировать процесс экспонирования резиста. Собрана и модернизирована установка по нанесению резиста, по напылению металла. В дополнении были созданы тонкие рельефы на полимере с заданным рисунком. Целью работы являлось создание технологии наноструктурирования с помощью, которой возможно получение тонких рельефов без разрушения структуры, использования сверхвысоких низких и высоких температур, улучшения разрешения получаемых структур, а также усовершенствования существующих технологий. Так были созданы рельефы и штампы высокого качества, толщина которых составила 40 нм. Созданные нанорельефы были исследованы оптической и атомно-силовой микроскопией. Были апробированы несколько методов для их создания: метод сухого травления, нанолитография и нанопечать.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Құбылмалы голограммаларын қолдану үшін электронды және ион литография ұсынылған әдісі 7-10 басылымды құрайтын және бұдан әрі пайдаланылмайтын қатты мөртабанның механикалық шегінуге қарағанда жоғары өнімділікпен және төмен бағамен сипатталады. Жұмыс барысында нанорельефті әртүрлі беттерге тасымалдау эксперименттік зерттеулер жүргізілді. Электрондық сәуленің ПММА резистіне әсері зерттелді және дозаның сипаттамалары анықталды. Олар резисттің сәуле әсер ету процесін оңтайландыруға мүмкіндік береді. Резистті жағу және металды тұндыруға арналған қондырғы құрастырылып, жаңартылды. Сонымен қатар, берілген өрнекпен полимерде жұқа рельефтер жасалды. Жұмыстың мақсаты құрылымды бұзбай жұқа рельефтер алуға, ультра жоғары төмен және жоғары температураны қолдануға, алынған құрылымдардың ажыратымдылығын жақсартуға, сондай-ақ қолданыстағы технологияларды жетілдіруге болатын наноқұрылым технологиясын құру болды. Осылайша, қалыңдығы 40 нм болатын жоғары сапалы рельефтер мен маркалар жасалды. Құрылған нанорельефтер оптикалық және атомдық күш микроскопиясымен зерттелді. Оларды құрудың бірнеше әдістері сыналды: құрғақ ою әдісі, нанолитография және нанопечать.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Разработанная технология переноса нанорельефа на различных поверхностях отличается от существующих, полученным высоким разрешением порядка 10 нм и низкими энергиями используемого электронного луча 1-150 мкКл/см2 и может быть использована в монетных дворах в виде защитного голографического рисунка, в фотолитографии для изготовления масок, в создании радужных голограмм, голографических решеток.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Нанорельефтің әртүрлі беттерге берілуінің дамыған технологиясы алынған жоғары ажыратымдылықтан шамамен 10 нм және пайдаланылған электронды сәуленің төмен энергиясынан 1-150 мкКл/см2 ерекшеленеді және оны монеталарда қорғаныс голографиялық сурет түрінде, фотолитографияда маскалар жасауға, кемпірқосақ голограммаларын, голографиялық торларды жасауға қолдануға болады.

Level of implementation (in Russian) :

Level of implementation (in Kazakh) :

Efficiency (in Russian) :

Efficiency (in Kazakh) :

Field of application (in Russian) : Уулучшение качества и уменьшение стоимости нано/микро-рельефов для применения в различных областях использования драгоценных металлов, подобных изготовлению слитков, монет и разнообразных драгоценностей. Изобретение относится к области нанолитографии, а именно к технологии переноса нанорельефа на различных поверхностях и может быть использовано в монетных дворах в виде защитного голографического рисунка, в фотолитографии для изготовления масок, в создании радужных голограмм, голографических решеток.

Field of application (in Kazakh) : құймаларды, монеталарды және түрлі зергерлік бұйымдарды, бағалы металдарды пайдаланып, әр түрлі салаларында қолдану үшін нано/микро-рельефтердің сапасын арттыру және құнын төмендету. Өнертабыс нанолитография саласына, атап айтқанда нанорельефті әртүрлі беттерге беру технологиясына қатысты және оны монеталарда қорғаныс голографиялық сурет түрінде, фотолитографияда маскалар жасау үшін, кемпірқосақ голограммаларын, голографиялық торларды жасау үшін қолдануға болады.