The object of research, development or design (in Russian) : Кристаллические материалы с модифицированной поверхностью

The object of research, development or design (in Kazakh) : Беті модификацияланған кристалды материалдар

Aim of work (in Russian) : Проведение экспериментов по осаждению наноструктурированных слоев на подложки с подготовленной поверхностью при различных параметрах плазмы

Aim of work (in Kazakh) : Наноқұрылымды қабаттарды плазманың әртүрлі параметрлері кезінде дайындалған беті бар субстраттарға тұндыру бойынша эксперименттер жүргізу

Методы исследования (на русском) : Пробоподготовка поверхности кристаллических материалов, распыление поверхности материалов импульсными потоками плазмы

Методы исследования (на казахском) : Кристалдық материалдар бетін сынама дайындау, материалдардың бетін плазманың импульстік ағындарымен шашырату

Obtained results and novelty (in Russian) : Проведены эксперименты по осаждению наноструктурированных слоев на подложки с подготовленной поверхностью при различных параметрах плазмы. Получены образцы материалов, обработанные на установке ВДУ-1 путем распыления поверхности двух типов катода: техническая медь и дюралюминий импульсными потоками плазмы в вакууме при различных режимах.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Әртүрлі плазма параметрлері жағдайында дайындалған сынама субстраттар бетіне наноқұрылымды қабаттарды тұндыру бойынша эксперименттер жүргізілді. ВДУ-1 қондырғысында катодтардың екі түрі: техникалық мыс пен дюралюминий бетін шашырату арқылы вакуумда әртүрлі режимде импульстік плазма ағындарымен өңделген материалдар сынамалары алынды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Проанализированы влияние режимов работы установки для осаждения и роста наноструктур из плазмы.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Плазмадан наноқұрылымдарды тұндыру және өсіру үшін қондырғының жұмыс режимдерінің әсері талданды.

Level of implementation (in Russian) : не внедрено

Level of implementation (in Kazakh) : ендірілмеген

Efficiency (in Russian) :

Efficiency (in Kazakh) :

Field of application (in Russian) : Вакуумные ускорители, наноматериалы

Field of application (in Kazakh) : Вакуумды үдеткіштер, наноматериалдар