The object of research, development or design (in Russian) : тонкие пленки нитрида кремния на кремнии

The object of research, development or design (in Kazakh) : кремнийдегі кремний нитридінің жұқа қабықшалары

Aim of work (in Russian) : Определение условий повышения времени жизни ловушек заряда и исследование процесса формирования нанокластеров кремния, при комнатных температурах

Aim of work (in Kazakh) : заряд тұзақтарының өмір сүру уақытын арттыру жағдайларын анықтау және бөлме температурасында кремний нанокластерлерінің қалыптасу процесін зерттеу

Методы исследования (на русском) : Метод PECVD, Облучение быстрыми тяжелыми ионами, спектроскопия электронного парамагнитного резонанса, рамановская спектроскопия, электронная микроскопия, термическая обработка пластин

Методы исследования (на казахском) : PECVD әдісі, жылдам ауыр иондармен сәулеленудіру, электронды парамагниттік резонанс спектроскопиясы, раман спектроскопиясы, электронды микроскопия, пластиналарды термиялық өңдеу

Obtained results and novelty (in Russian) : Методом плазмохимического осаждения из паровой фазы образцы нитрида кремния в кремнии были синтезированы образцы как с избытком азота, так и с избытком содержащегося кремния. Наличие высоких концентраций связей Si-H и N-H было подтверждено методом рамановской спектроскопии в исходных образцах. Дальнейший отжиг привел к образованию кремниевых кластеров для обоих типов образцов. Методами ЭПР-спектроскопии и емкостной спектроскопии глубокого уровня выявлены высокие концентрации K и N парамагнитных центров с эффектом памяти. Впервые построение математической модели анализа ЭПР-спектров на основе фильтрации информационно-энтропийным рекурсивным методом позволило выявить сверхтонкую структуру в спектре. 1)Опубликована 1 статья в рецензируемом научном издании по научному направлению проекта, входящем во 2 (второй) квартиль в базе Web of Science, а так же 4 статьи в рецензируемом зарубежном или отечественном издании, рекомендованном КОКСОН; 2)Подана заявка на патент в евразийское патентное бюро.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Будың плазмохимиялық тұндыру әдісімен кремнийдегі кремний нитридінің үлгілері артық азотпен де, артық кремниймен де синтезделді. Si-H және N-H байланыстарының жоғары концентрациясының болуы бастапқы үлгілерде Раман спектроскопиясы әдісімен расталды. Әрі қарай күйдіру үлгілердің екі түрі үшін де кремний кластерлерінің пайда болуына әкелді. ЭПР-спектроскопия және терең деңгейлі сыйымдылық спектроскопиясы әдістерімен жад эффектісі бар парамагниттік орталықтардың K және N жоғары концентрациясы анықталды. Алғаш рет ақпараттық-энтропиялық рекурсивті әдіспен сүзуге негізделген ЭПР спектрлерін талдаудың математикалық моделін құру спектрдегі күрделі құрылымды анықтауға мүмкіндік берді. 1)Web of Science базасында 2 (екінші) квартильге кіретін жобаның ғылыми бағыты бойынша рецензияланатын ғылыми басылымда 1 мақала, сондай-ақ КОКСОН ұсынған рецензияланатын шетелдік немесе отандық басылымда 4 мақала жарияланды; 2)Еуразиялық патенттік бюроға патентке өтінім берілді.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : 1)Внедрение технологии светоизлучающего материала на основе нитрида кремния в микроэлектронике позволит реализовать оптический способ передачи сигнала. 2)Определение условий при которых происходит повышение концентрации K и N парамагнитных центров повысить ёмкость элементов памяти на основе данного материала. 3)Реализация технологий предлагаемых в проекте на основе широко применяемого кремнийсодержащего материала является экономически выгодным.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : 1)Микроэлектроникада кремний нитридіне негізделген жарық шығаратын материал технологиясын енгізу сигнал берудің оптикалық әдісін жүзеге асыруға мүмкіндік береді. 2) Парамагниттік орталықтардың K және N концентрациясының жоғарылауы болатын жағдайларды анықтау осы материалға негізделген жад элементтерінің сыйымдылығын арттыру. 3)Кеңінен қолданылатын кремний бар материал негізінде жобада ұсынылатын технологияларды іске асыру экономикалық тиімді болып табылады.

Level of implementation (in Russian) :

Level of implementation (in Kazakh) :

Efficiency (in Russian) : 1)Эффективность результатов проекта состоит в получении материала на основе нитрида кремния с повышенными светоизлучающими характеристиками. 2)Выявлены условия при которых повышается концентрация K и N парамагнитных центров, которые захватывают заряд. 3)Математическая модель позволяет эффективно выделять полезный сигнал ЭПР из шума.

Efficiency (in Kazakh) : 1)Жоба нәтижелерінің тиімділігі жоғары жарық шығаратын сипаттамалары бар кремний нитридіне негізделген материалды алудан тұрады. 2)Зарядты ұстайтын парамагниттік орталықтардың K және N концентрациясы жоғарылайтын жағдайлар анықталды. 3)Математикалық модель шудан пайдалы EPR сигналын тиімді бөлуге мүмкіндік береді.

Field of application (in Russian) : микроэлектроника, фотоника

Field of application (in Kazakh) : микроэлектроника, фотоника