The object of research, development or design (in Russian) : Оксид галлия (β-Ga2O3)

The object of research, development or design (in Kazakh) : Галий оксиді (β-Ga2O3)

Aim of work (in Russian) : Цель работы на данном этапе заключалась в определении оптимального режима синтеза тонких пленок на основе моноклинного оксида галлия (β-Ga2O3) методом магнетронного осаждения с последующим термическим отжигом.

Aim of work (in Kazakh) : Осы кезеңдегі жұмыстың мақсаты магнетронды тұндыру арқылы моноклиндық галий оксиді (β-Ga2O3) негізіндегі жұқа пленкаларды синтездеудің және кейін оны термиялық күйдірудің оңтайлы режимдерін анықтау болды.

Методы исследования (на русском) : Были изучены и проанализированы зарубежные научные статьи для определения режимов осаждения и отжига тонких пленок на основе оксида галлия. В ходе анализа статьи выбраны две разные подложки: сапфир с ориентацией (0001) и сталь.

Методы исследования (на казахском) : оксиді негізіндегі жұқа пленкаларды тұндыру және күйдіру режимдерін анықтау үшін шетелдік ғылыми мақалалар зерттеліп, талданды. Мақаланы талдау барысында екі түрлі субстрат таңдалды: сапфир (0001) бағытымен және болат.

Obtained results and novelty (in Russian) : Ожидаемые результаты: определены режимы осаждения, позволяющие получить тонкие пленки оксида галлия на различных подложках с высокой адгезией для проведения дальнейших исследований.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Күтілетін нәтижелер: әрі қарай зерттеу үшін жоғары адгезиялы әртүрлі субстраттарда галлий оксиді негізінде жұқа пленкаларды алуға мүмкіндік беретін тұндыру режимдері анықталды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Для достижения поставленной цели научного проекта решены следующие задачи: Определены режимы осаждения тонких пленок оксида галлия (β-Ga2O3) на различные подложки с их предварительной подготовкой (полировка, очистка): поток кислорода в камеру, расстояние от распыляемой мишени до поверхности подложки, температуры подложки.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Ғылыми жобаның мақсатына жету үшін келесі міндеттер шешілді: Галлий оксидінің (β-Ga2O3) жұқа пленкаларын алдын ала дайындаумен (жылтырату, тазалау) әртүрлі субстраттарға тұндыру режимдері анықталды: камерадағы оттегінің ағыны, шашылған нысанадан субстрат бетіне дейінгі қашықтық, субстрат температуралары.

Level of implementation (in Russian) : Внедрение не предполагается

Level of implementation (in Kazakh) : Іске асыру күтілмейді

Efficiency (in Russian) : Результаты выполненной работы позволили точно определить режимы осаждение и отжига тонких пленок на основе оксида галлия и являются базисом для реализации следующих задач.

Efficiency (in Kazakh) : Бұл жұмыстың нәтижелері галлий оксиді негізіндегі жұқа пленкаларды тұндыру және күйдіру режимдерін дәл анықтауға мүмкіндік берді және келесі міндеттерді орындауға негіз болады.

Field of application (in Russian) : Результаты исследований могут быть использованы в фундаментальных и коммерческих исследованиях в области изготовления приборов нового поколения оптоэлектроники, авионики и электроники космических аппаратов.

Field of application (in Kazakh) : Зерттеу нәтижелері оптоэлектроника, авионика және ғарыш аппараттарының электроникасының жаңа буынын құрылғыларын жасау саласындағы іргелі және коммерциялық зерттеулерде пайдаланылуы мүмкіндік береді.