The object of research, development or design (in Russian) : Авторами проекта будет осуществлен синтез наноструктурированных, поликристаллических и монокристаллических пленок карбида кремния (SiC) методом замещения атомов в атмосфере газа монооксида углерода (СО). Осаждение пленок ZnO будет осуществляться магнетронным распылением мишени ZnO в атмосфере аргона либо альтернативным способом распыления мишени Zn в атмосфере кислорода.

The object of research, development or design (in Kazakh) : жоба авторлары наноқұрылымды, поликристалды және монокристалды кремний карбиді (SiC) қабықшаларын атомдарды көміртегі оксиді (СО) атмосферасында алмастыру арқылы синтездейді. ZnO қабықшаларын тұндыру ZnO нысанын аргон атмосферасына магнетронды тозаңдату немесе Zn нысанын оттегі атмосферасына шашыратудың балама әдісі арқылы жүзеге асырылады. Синтезделген қабықшаларды рентгендік дифракцияның, рентгендік рефлектометрияның және инфрақызыл спектроскопияның құрылымдық әдістері зерттеледі.

Aim of work (in Russian) : Синтез и исследование наноструктурированных поликристаллических, монокристаллических слоев SiC и оксидов металлов, синтезированных физико-химическими методами для полупроводниковой наноэлектроники. Основная идея проекта заключается в изучении влияния температуры на формирование различных структурных фаз SiC. Будет изучено влияние структуры буферного слоя SiC на улучшение структурного качества пленок ZnO.

Aim of work (in Kazakh) : Жартылай өткізгішті наноэлектроника үшін физика-химиялық әдістермен синтезделген SiC мен металл оксидтерінің наноқұрылымды, поликристалды, монокристалды қабаттарын синтездеу және зерттеу. Жобаның негізгі идеясы - SiC әртүрлі құрылымдық фазаларының түзілуіне температура мен басқа синтез жағдайларының әсерін зерттеу. SiC буферлік қабаты құрылымының магнетронды тозаңдату немесе бүркумен алынған ZnO қабықтарының құрылымдық сапасын жақсартуға әсері зерттеледі.

Методы исследования (на русском) : экспериментальное и аналитическое оборудование, которое позволяет провести комплексное исследование и обработать результаты для выполнения цели проекта (ИК-спектроскопия, рентгеновская рефлектометрия, рентгеновская дифракция, атомно-силовая спектроскопия).

Методы исследования (на казахском) : жобаның мақсатына жету үшін нәтижелерді жан-жақты зерттеуге және өңдеуге мүмкіндік беретін тәжірибелік-аналитикалық жабдық (ИҚ-спектроскопия, рентгендік рефлексометрия, рентгендік дифракция, атомдық күш спектроскопиясы).

Obtained results and novelty (in Russian) : Изучены особенности формирования различных структурных фаз SiC в условиях высоких температур >1300°С, и проанализировано влияние различных параметров синтеза на формирование структур. Поставленные цели и задачи за отчетный период полностью достигнуты. С использованием высокотемпературной электропечи в атмосфере газа СО синтезированы монокристаллические и нанокристаллические фазы карбида кремния при различных условиях. Изучено влияние температуры, давления и длительности синтеза на структурное качество и фазовый состав полученных пленок.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Жоғары температурада SiC-тің >1300°С әртүрлі құрылымдық фазаларының пайда болу ерекшеліктері зерттеліп, әртүрлі синтез параметрлерінің құрылымдардың түзілуіне әсері талданды. СО газ атмосферасында жоғары температуралы электр пешінің көмегімен кремний карбидінің монокристалды және нанокристалды фазалары әртүрлі жағдайларда синтезделді. Алынған пленкалардың құрылымдық сапасы мен фазалық құрамына температураның, қысымның және синтез ұзақтығының әсері зерттелді.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : За 2022 год изучены особенности формирования различных структурных фаз SiC в условиях высоких температур >1300°С, и проанализировано влияние различных параметров синтеза на формирование структур.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : 2022 жылға >1300°С жоғары температурада әртүрлі SiC құрылымдық фазаларының түзілу ерекшеліктері зерттеліп, құрылымдардың қалыптасуына әртүрлі синтез параметрлерінің әсері талданды.

Level of implementation (in Russian) :

Level of implementation (in Kazakh) :

Efficiency (in Russian) :

Efficiency (in Kazakh) :

Field of application (in Russian) : Наноэлектроника, солнечная энергетика.

Field of application (in Kazakh) : Наноэлектроника, күн энергиясы.