The object of research, development or design (in Russian) : Разработка высокочувствительных миниатюрных газовых сенсоров на основе МОП и улучшение их морфологических, электрических и оптических свойств, а также повышение чувствительности и времени отклика на токсичные газы.

The object of research, development or design (in Kazakh) : MOS негізіндегі жоғары сезімтал миниатюралық газ датчиктерін жасау және олардың морфологиялық, электрлік және оптикалық қасиеттерін жақсарту, сондай-ақ улы газдарға сезімталдық пен әрекет ету уақытын арттыру.

Aim of work (in Russian) : Целью данного проекта является разработка высокочувствительных миниатюрных газовых сенсоров на основе МОП и улучшение их морфологических, электрических и оптических свойств, а также повышение чувствительности и времени отклика на токсичные газы. Газовые сенсоры будут применяться в системах мониторинга газовой среды, мониторинга экологического состояния атмосферы, а также в горнорудной и нефтегазовой отраслях.

Aim of work (in Kazakh) : Жобаның мақсаты МОӨЖ негізінде жоғары сезімтал миниатюралық газ сенсорларын жасау және олардың морфологиялық, электрлік және оптикалық қасиеттерін жақсарту, сонымен қатар улы газдарға сезімталдық пен әрекет ету уақытын арттыру. Осыған байланысты жоғары сезімтал газ сенсорларын әзірлеу газды қоршаған ортаны қадағалау, атмосфераның экологиялық жағдайын бақылау жүйелерінде, тау-кен және мұнай-газ салаларында пайдаланылатын болады.

Методы исследования (на русском) : Для достижения цели ниже перечислены следующие методы: 1. Моделирование IDT электродов с помощью PVD частиц золота на поверхности специализированной подложки. 2. Синтез комплекса Zn1-xTixO тонких плёнок с помощью магнетронного напыления, а также с последующей термической обработкой. 3. Исследование влияние различной концентрации титана и толщины нано-пленок на структуру базового элемента ZnO. 4. Тестирование и исследование на газочувствительность синтезированных Zn1-xTixO тонких пленок при разных концентрациях газа и температуры.

Методы исследования (на казахском) : Мақсатқа жету үшін төменде әдістер келтірілген: 1. Мамандандырылған субстрат бетіндегі PVD алтын бөлшектерін қолдану арқылы IDT электродтарын модельдеу. 2. Магнетронды шашырату, сонымен қатар кейінгі термиялық өңдеу арқылы жұқа қабықтардың Zn1-xTixO кешенін синтездеу. 3. Әртүрлі титан концентрациясы мен нано-пленка қалыңдығының ZnO негізгі элементінің құрылымына әсерін зерттеу. 4. Синтезделген Zn1-xTixO жұқа қабықтарының газ сезімталдығын әртүрлі газ концентрациясы мен температурада сынау және зерттеу.

Obtained results and novelty (in Russian) : Были синтезированы тонкие пленки на основе комплекса Zn1-xTixO с легированием титана на поверхность стеклянной подложки с модифицированным IDT электродом золота с помощью магнетронного напыления при высоком вакууме (5 мил. Торр). Были определены свойства чувствительности пленок Zn1-xTixO к газу CO2 при разных концентрациях (1-100 ppm) и температурных режимах 27-350℃. По итогам исследования, влияние различной концентрации (1-5%) титана и толщины (10-100 нм) нано-пленок на структуру базового элемента ZnO были изучены, и наиболее оптимальные соотношения легирования и толщины для чувствительных газовых сенсоров на основе Zn1-xTixO были 5% легирования титана и толщина нано пленки ~85 нм. По итогам работ, была опубликована статья выведаны наиболее оптимальные соотношения и компоненты для получения однородных нановолокон.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Жоғары вакуумда (5 миль Торр) магнетронды шашырату арқылы IDT модификацияланған алтын электроды бар шыны субстраттың бетінде титан қоспасы бар Zn1-xTixO кешені негізінде жұқа қабықшалар синтезделді. Zn1-xTixO қабықшаларының CO2 газына сезімталдық қасиеттері әртүрлі концентрацияларда (1-100 ppm) және 27-350℃ температура жағдайында анықталды. Зерттеу нәтижелері бойынша титанның әртүрлі концентрациясының (1-5%) және нано-пленкалардың қалыңдығының (10-100 нм) ZnO базалық элементінің құрылымына әсері зерттелді және олардың ең оңтайлы арақатынастары анықталды. Zn1-xTixO негізіндегі сезімтал газ сенсорлары үшін қоспалау және қалыңдығы 5% титан қоспасы және нанофильмнің қалыңдығы ~85 нм болды. Жұмыстың нәтижелері бойынша біртекті наноталшықтарды алудың ең оңтайлы арақатынастары мен компоненттерін анықтайтын мақала жарияланды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Для газовых сенсоров были смоделированы и сконструированы IDT электроды с частицами золота на поверхности специализированной подложки с помощью методом физическое осаждение паров металлов (PVD).

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Газ датчиктері үшін мамандандырылған субстрат бетінде алтын бөлшектері бар IDT электродтары физикалық металл буының тұндыру (PVD) әдісімен модельденді және құрастырылды.

Level of implementation (in Russian) : не внедрено

Level of implementation (in Kazakh) : жүзеге асырылмаған

Efficiency (in Russian) : Эффективность газовых сенсоров в исследовании составило около 15-20 % за счет снижение рабочей температуры чувствительного элемента который повысил энергоэффективность газовых сенсоров и расширил сферы их применения. Для снижения рабочей температуры газовых сенсоров повлияло использование легирование титана на базовый элемент (цинк оксид) при оптимальной концентраций.

Efficiency (in Kazakh) : Зерттеудегі газ датчиктерінің тиімділігі сезгіш элементтің жұмыс температурасының төмендеуіне байланысты шамамен 15-20% болды, ол жоғарылады. газ датчиктерінің энергия тиімділігі және олардың ауқымын кеңейтті. Жұмысты азайту үшін әсер еткен газ датчиктерінің температурасы оңтайлы концентрацияларда негізгі элементте (мырыш оксиді) легирленген титанды қолдану.

Field of application (in Russian) : Газовые сенсоры будут применяться в системах мониторинга газовой среды, мониторинга экологического состояния атмосферы, а также в горнорудной и нефтегазовой отраслях.

Field of application (in Kazakh) : Газ датчиктері газды ортаны бақылау, атмосфераның экологиялық жағдайын бақылау жүйелерінде, сондай-ақ тау-кен және мұнай-газ өнеркәсібінде қолданылатын болады.