The object of research, development or design (in Russian) : Объектом исследования являются композитные материалы на основе тонких пленок аморфного алмазоподобного углерода (DLC) модифицированного наночастицами палладия.

The object of research, development or design (in Kazakh) : Зерттеу нысаны - палладий нанобөлшектерімен модификацияланған аморфты алмас тәрізді көміртектің (DLC) жұқа қабықшаларына негізделген композициялық материалдар.

Aim of work (in Russian) : Основной Целью работы является разработка научных и технологических основ синтеза композитных углеродных материалов с изолированными наночастицами металлов платиновой группы, для выявления новых свойств и создания новых материалов многоцелевого назначения.

Aim of work (in Kazakh) : Жұмыстың негізгі Мақсаты жаңа қасиеттерді анықтау және көп мақсатта қолдануға болатын жаңа материалдар жасау үшін платина тобы металдарының оқшауланған нанобөлшектері бар көміртекті композитті материалдарын синтездеудің ғылыми және технологиялық негіздерін жасау болып табылады.

Методы исследования (на русском) : Электронная микроскопия, энергодисперсионный анализ, рамановская и оптическая спектроскопия

Методы исследования (на казахском) : Электронды микроскопия, энергетикалық дисперсиялық талдау, Раман және оптикалық спектроскопия

Obtained results and novelty (in Russian) : На данном этапе работы были проведены работы по модифицированию аморфных DLC пленок наночастицами палладия при напряжении смещения на подложке в интервале от -20В до -100В. Кроме этого, проведены исследования свойств в зависимости от концентрации палладия при напряжении смещения. Выявлено, что напряжение смещения на подложке оказывает влияние на условия конденсации ионов углерода и палладия, и формирования атомной структуры. При этом влияние ионов палладия на формирование структуры больше, чем влияние ионов углерода. Также выявлено, что внедрение ионов палладия до 1 ат.% приводит к стабилизации структуры и формированию sp3 узлов. Это увеличивает ширину запрещенной зоны в несколько раз больше, чем Eg в а-С пленках, синтезированных без отрицательного потенциала на подложке. Таким образом, наночастицы палладия существенно влияют на формирование структуры и свойства синтезируемых DLC пленок. Научная новизна полученных результатов состоит в синтезе новых композитных наноразмерных пленок с изолированными наночастицами палладия в аморфной DLC матрице с различной степенью гибридизации С-С связей и с разными электронными свойствами.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Жұмыстың осы сатысында палладийлі нанобөлшектері бар аморфты DLC пленкаларын субстратта -20 В-тан-100 В дейінгі диапазонда кернеу кезінде модификациялау бойынша жұмыстар жүргізілді. Сонымен қатар, қасиеттерді зерттеу палладийдің кернеудегі концентрациясына байланысты жүргізілді. Субстраттағы ығысу кернеуі көміртегі мен палладий иондарының конденсациясы мен атом құрылымының қалыптасу жағдайына әсер ететіндігі анықталды. Бұл жағдайда құрылымның түзілуіне палладий иондарының әсері көміртегі иондарының әсерінен көп болады. Сондай-ақ, палладий иондарын 1% -ке дейін енгізу құрылымның тұрақтануына және sp3 алаңдарының пайда болуына әкелетіні анықталды. Бұл субстратта теріс потенциалсыз синтезделген a-C пленкаларындағы Eg-ге қарағанда жолақ саңылауын бірнеше есе арттырады. Осылайша, палладий нанобөлшектері синтезделген DLC пленкаларының құрылымы мен қасиеттерінің қалыптасуына айтарлықтай әсер етеді. Алынған нәтижелердің ғылыми жаңалығы аморфты DLC матрицасында оқшауланған палладийлі нанобөлшектері бар жаңа композициялық наноскөлемді пленкалардың синтезделуінен тұрады, әр түрлі С-С байланыстарының будандастырылу дәрежесі бар және әртүрлі электронды қасиеттері бар.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Выявлено, что напряжение смещения на подложке оказывает влияние на условия конденсации ионов углерода и палладия, и формирования атомной структуры. Внедрение ионов палладия в формируемую углеродную матрицу под действием дополнительного отрицательного потенциала на подложке приводит к стабилизации структуры и увеличивает ширинs запрещенной зоны в несколько раз больше, чем Eg в а-С пленках, синтезированных без отрицательного потенциала на подложке.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Субстраттағы ығысу кернеуі көміртегі мен палладий иондарының конденсациясы мен атом құрылымының қалыптасу жағдайына әсер ететіндігі анықталды. Палладий иондарының түзілген көміртек матрицасына субстратқа қосымша теріс потенциал әсер етуі құрылымның тұрақтануына әкеліп соғады және субстратта теріс потенциалсыз синтезделген a-C пленкаларында жолақ саңылауының енін Eg-ге қарағанда бірнеше есе ұлғайтады.

Level of implementation (in Russian) :

Level of implementation (in Kazakh) :

Efficiency (in Russian) :

Efficiency (in Kazakh) :

Field of application (in Russian) : микроэлектроника

Field of application (in Kazakh) : микроэлектроника