Inventory number IRN Number of state registration
0220РК00458 AP05132865-OT-20 0118РК00083
Document type Terms of distribution Availability of implementation
Заключительный Gratis Number of implementation: 0
Not implemented
Publications
Native publications: 1
International publications: 1 Publications Web of science: 0 Publications Scopus: 1
Number of books Appendicies Sources
0 3 32
Total number of pages Patents Illustrations
56 0 36
Amount of funding Code of the program Table
8088000 AP05132865 1
Name of work
Разработка плазмохимической технологии синтеза наноструктур карбида кремния
Report title
Type of work Source of funding The product offerred for implementation
Applied Материалы
Report authors
Алиев Баходир , Партизан Гулмайра , Суюндыкова Гулнур Сериккалиевна , Кенжегулов Айдар Караулович , Медянова Ботагоз Серикболовна , Жумадилов Бауыржан Ерболсынұлы , Оспанәлі Әзиза Талғатқызы , Мансуров Нуркадыр Батырович ,
0
0
0
0
Customer МНВО РК
Information on the executing organization
Short name of the ministry (establishment) МНВО РК
Full name of the service recipient
Дочернее Государственное предприятие на праве хозяйственного ведения "Национальная Нанотехнологическая Лаборатория Открытого Типа" Республиканского Государственного Предприятия на праве хозяйственного ведения "Казахский Национальный университет им. Аль-Фараби"
Abbreviated name of the service recipient ДГП на ПХВ "ННЛОТ" РГП на ПХВ "КазНу им. аль-Фараби МОН РК"
Abstract

Наноструктуры карбида кремния

Кремний карбидінің наноқұрылымдары

Целью настоящего проекта является разработка плазмохимической технологии синтеза НС SiC на различных типах поверхности кремния, с предварительно нанесенными металлическими катализаторами и без них.

Берілген жобаның мақсаты кремнийдің бетінің әртүрлі типтерінде алдын ала металл катализаторлармен отырғызылған және онсыз SiC НҚ синтезінің плазмохимиялық технологиясын әзірлеу болып табылады.

Сканирующая электронная микроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния света, рентгеноструктурный анализ. Исследования проводились в Национальной нанотехнологической лаборатории открытого типа и лаборатории рентгеноструктурного анализа (Казахстан), в лабораториях Отдела поверхности и технологий новых материалов Института Материаловедения Университета г. Зиген (Германия). Для исследования морфологии и элементного анализа образцов использовался автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения фирмы Zeiss модели Gemini Ultra 55 с устройством для рентгеноспектрального микроанализа от фирмы «Thermo Scientific» и микроскоп Quanta 3D 200i. Рентгеноструктурный анализ образцов проводился с помощью дифрактометра Rigaku MiniFlex 600 XRD.

Сканерлеуші электрондық микроскопия, жарықтың комбинациялық шашырау спектроскопиясы, рентген құрылымдық сараптау. Зерттеулер ашық типтегі Ұлттық нанотехнологиялық зертханада, рентген құрылымдық сараптау зертханасында (Қазақстан) және Зиген қаласындағы (Германия) Материалтану Институтының бет және жаңа материалдар технологиясы бөлімінде жүзеге асырылды. Үлгілердің морфологиясын зерттеу және элементтік сараптамасын жүргізу үшін Zeiss фирмасының моделі Gemini Ultra 55 аса жоғары рұқсат етілімі бар автоэмиссионды электронды микроскобы (FESEM) және Quanta 3D 200i микроскобы қолданылды. Үлгілердің рентген құрылымдық сараптамасы Rigaku MiniFlex 600 XRD дифрактометрі көмегімен жүзеге асырылды. Мәліметтерді өңдеу OriginPro 8.1. және CorelDRAW Graphics Suite X7 бағдарламаларында жүргізілді.

Были получены наноструктуры карбида кремния на кластерах металлов с различным типом физико -химического взаимодействия углерод-металл, кремний-металл в процессе плазмохимического синтеза. Была разработана отечественная технология получения нанотрубок и нановолокон карбида кремния, с возможностью регулирования их структур и свойства технологическими параметрами.

Плазмалық-химиялық процесс нәтижесінде метал кластерінде әртүрлі көміртек-метал, кремний-метал арасындағы физика - химиялық әсерлесулері бар кремний карбидінің наноқұрылымдары алынды. Көміртекті нанотүтікше мен кремний карбидінің наноталшықтардың құрылымын реттеу және технологиялық параметрлерін өңдеу мүмкіндіктері бар отандық технология өңделді.

Была собрана и модернизована опытная установка по получению карбида кремния плазмохимическим методом. Разработанная методика на основе ВЧМР является экономически выгодным, так как при синтезе не используется дорогостоящие и токсичные газы.

Плазмалық-химиялық әдіспен кремний карбидін алу бойынша тәжірибелі қондырғы жиналды және жетілдірілді. ЖЖМТ негізінде өңделген әдістеме қымбат және зиян емес газдарды қолдану себебінен экономикалық тиімді.

Разработка отечественных технологий получения наноструктур карбида кремния позволит развивать и внедрять наукоемкие технологические разработки в энергетическую, металлургическую, нефтеперерабатывающую, фармацевтическую и другие отрасли.

Кремний карбидінің наноқұрылымдарын алудың отандық технологияларын жасау ғылымды қажетсінетін технологиялық әзірленімдерді дамытып, оларды энергетикалық, металлургиялық, мұнай өндіруші, фармацевтикалық және басқа салаларға енгізуге мүмкіндік береді.

UDC indices
539.25, 539.216.1, 539.217.1, 539.234
International classifier codes
29.19.16; 29.19.22;
Readiness of the development for implementation
Key words in Russian
Наноструктуры карбида кремния; Метод плазмохимического осаждения; Магнетронное распыление; Пористый кремний; Растровая электронная микроскопия; Спектроскопия комбинационного рассеяния света; Рентгеноструктурный анализ;
Key words in Kazakh
Кремний карбидінің наноқұрылымдары; Плазмахимиялық отырғызу әдісі; Магнетрондық тозаңдандыру; Кеуекті кремний; Сканерлеуші электрондық микроскопия; Жарықтың комбинациялық шашырау спектроскопиясы; Рентген құрылымдық сараптама;
Head of the organization Муратов М. М. Phd /
Head of work Алиев Баходир Доктор физико-математических наук / доцент
Native executive in charge