The object of research, development or design (in Russian) : Объектами исследования являются фосфор- и борсодержащие золь-гель растворы, а также тонкие легированные пленки кремния, полученные методами центрифугирования и магнетронного распыления, применяемые для формирования туннельно-оксидных пассивирующих контактов (TOPCon) в кремниевых солнечных элементах.

The object of research, development or design (in Kazakh) : Зерттеу нысандары ретінде фосфор мен бор құрамды золь-гель ерітінділері, сондай-ақ кремний күн батареяларында туннель-оксидті пассивациялық контактілерді (TOPCon) қалыптастыру үшін қолданылатын центрифугалау және магнетронды бүрку әдістерімен алынған кремнийдің жұқа легирленген қабықшалары, болып табылады.

Aim of work (in Russian) : Оптимизация параметров магнетронного осаждения для минимизации наносимого урона подложке кремния и туннельному слою SiO2. Определение зависимости степени легирования нанослоев poly-Si (p) от параметров распыления мишеней Si и B. Разработка экспрессных методов формирования бор- и фосфорсодержащих растворов с оптимальными свойствами и удовлетворительным сроком годности.

Aim of work (in Kazakh) : Кремний төсенішіне және SiO2 туннельдік қабатына келтірілген зиянды азайту үшін магнетронды бүрку параметрлерін оңтайландыру. Poly-Si (p) наноқабаттарының легирлену дәрежесінің Si және B нысандарын бүрку параметрлеріне тәуелділігін анықтау. Оптималды қасиеттері мен жарамды сақтау мерзімі бар бор және фосфор құрамды ерітінділерді жедел қалыптастырудың әдістерін әзірлеу.

Методы исследования (на русском) : Работы выполнены с использованием физико-химических и вакуумных технологий. Синтез фосфор- и борсодержащих растворов проводился золь-гель методом на основе TEOS, H3PO4 и B2O3 в смесях IPA, HCl и воды. Для нанесения полученных растворов на кремниевые подложки использовался метод центрифугирования. Метод магнетронного распыления использовалось для осаждения кремниевых нанослоёв. Отжиг полученных структур проводился быстрым термическим отжигом или отжигом в трубчатой печи при температуре 900–1050 °C. Комплексная характеризация полученных плёнок проводилась методами FTIR, спектрофотометрии, XRD, XRR, СВЧ-методом, четырёхзондовым зондированием и измерением ВАХ солнечных элементов.

Методы исследования (на казахском) : Жұмыстар физика-химиялық және вакуумдық технологияларды пайдалана отырып орындалды. Фосфор және бор құрамдас ерітінділерінің синтезі IPA, HCl және су қоспаларында TEOS, H3PO4 және B2O3 негізіндегі золь-гель әдісімен жүргізілді. Алынған ерітінділерді кремний төсеніштерге қолдану үшін центрифугалау әдісі қолданылды. Магнетронды бүрку әдісі кремний наноқабаттарын отырғызу үшін қолданылған. Алынған құрылымдарды 900-1050 °C температурада құбырлы пеште немесе жылдам термиялық күйдіру арқылы жүзеге асырылды. Алынған қабықшыларды кешенді FTIR әдісімен, спектрофотометрия, XRD, XRR, ультра жоғары жиілікті әдістерімен, төрт зондты әдісімен және ВАХ күн элементтерді өлшеу әдісімен жүргізілді.

Obtained results and novelty (in Russian) : Разработаны фосфорсодержащие растворы с концентрацией примеси 8×1019–1.8×1021 см-3, временем приготовления менее 2 часов и сроком годности не менее 3 недель. Разработаны борсодержащие растворы с концентрацией примеси 1×1019–1×1021 см-3, временем приготовления менее 1 часа и сроком хранения более 2 недель. Оптимизирован процесс центрифугирования и предварительной сушки (100–300 °C), обеспечивающий равномерное распределение толщины силикатных покрытий. Методами FTIR и СЭМ подтверждена гомогенность структуры фосфор- и борсиликатных стекол, наличие связей B–O–Si и P–O–Si после термообработки. При оптимальном режиме RTA-отжига (950 °C, 3 мин) получены легированные области с поверхностным сопротивлением 80–120 Ω/□ и равномерным распределением по поверхности (10×10 см2).

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Дайындау уақыты 2 сағаттан аз және жарамдылық мерзімі кемінде 3 апта, құрамында 8×1019-1.8×1021 см-3 қоспа концентрациясы бар фосфор ерітінділер әзірленді. Дайындау уақыты 1 сағаттан аз және сақтау мерзімі 2 аптадан асатын, 1×1019–1×1021 см-3 қоспа концентрациясы бар бор ерітінділер әзірленді. Центрифугалау және алдын ала кептіру процесі (100-300 °C) оңтайландырылған, бұл силикат жабындарының қалыңдығының біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. FTIR және СЭМ әдістерімен фосфор - және борсиликатты шыны құрылымының біртектілігі, термиялық өңдеуден кейін B–O–Si және P–O–Si байланыстарының болуы расталды. Оңтайлы RTA күйдіру режимінде (950 °C, 3 мин) беттік кедергісі 80-120 Ω/□, беттің біркелкі таралуы (10×10 см2) легирленген аймақтары бар алынды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Разработанная технология отличается низкой себестоимостью и безопасностью, исключает использование токсичных газов (PH3, B2H6) и позволяет интегрировать процесс в существующие линии производства TOPCon-солнечных элементов без модернизации основного оборудования.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Әзірленген технология құнының төмендігімен және қауіпсіздігімен ерекшеленеді, улы газдарды (PH₃, B₂H₆) пайдалануды болдырмайды және негізгі жабдықтарды жаңартпай-ақ, процесті TOPCon күн батареяларын өндірудің қолданыстағы желілеріне біріктіруге мүмкіндік береді.

Level of implementation (in Russian) : Не внедрено.

Level of implementation (in Kazakh) : Іске асырылмаған.

Efficiency (in Russian) : Разработанные методы позволяют отказаться от токсичных и дорогостоящих процессов легирования на основе POCl3 и BBr3, а также снизить энергозатраты за счёт короткого времени RTA-обработки. Технологии золь-гель-легирования и магнетронного осаждения могут быть внедрены в лабораторно-промышленные линии Казахстана без значительных капитальных вложений. Результаты работы способствуют развитию отечественных компетенций в области фотовольтаики и интеграции Казахстана в глобальную цепочку производства солнечных технологий.

Efficiency (in Kazakh) : Әзірленген POCl3 және BBr3 негізіндегі әдістер улы және қымбат легирлеу процестерінен бас тартуға, сондай-ақ қысқа RTA өңдеу уақыты арқылы энергия шығынын азайтуға мүмкіндік береді. Золь-гель-легирлеу және магнетронды бүрку технологиялары Қазақстанның зертханалық-өнеркәсіптік желілеріне елеулі күрделі салымдарсыз енгізіле алады. Жұмыс нәтижелері фотовольтаика саласындағы отандық құзыреттерді дамытуға және Қазақстанның күн технологиясының өндіруі жаһандық тізбегіне интеграциялануына ықпал етеді.

Field of application (in Russian) : Солнечная энергетика, электроника.

Field of application (in Kazakh) : Күн энергетикасы, электроника.