Inventory number IRN Number of state registration
0324РК00975 AP19576960-KC-24 0123РК00120
Document type Terms of distribution Availability of implementation
Краткие сведения Gratis Number of implementation: 0
Not implemented
Publications
Native publications: 0
International publications: 0 Publications Web of science: 0 Publications Scopus: 0
Patents Amount of funding Code of the program
0 25000000 AP19576960
Name of work
Наноселективное структурирование на основе электронно-лучевой литографии для создания элементов наноплазмоники, защитных элементов и наносенсоров
Type of work Source of funding Report authors
Applied Муратов Мухит Мухаметнурович
2
0
2
0
Customer МНВО РК
Information on the executing organization
Short name of the ministry (establishment) МНВО РК
Full name of the service recipient
Некоммерческое акционерное общество "Казахский национальный университет имени аль-Фараби"
Abbreviated name of the service recipient НАО "КазНУ им. аль-Фараби"
Abstract

Технологии наноструктурирования

Наноқұрылымдық технологиялар

Отработка и оптимизация планарной технологии наноструктурирования для; кардинального улучшения чувствительности и разрешения методов SPR imaging и SPR геномики, развития новой планарной технологии селективно-привитой полимеризации, создания новых голографических защитных элементов.

SPR Imaging және SPR геномика әдістерінің сезімталдығы мен ажырату қабілетін түбегейлі жақсарту, селективті егілген полимерлеудің жаңа жазықтық технологиясын дамыту, жаңа голографиялық қорғаныш элементтерін жасау үшін наноқұрылымдаудың жазықтық технологиясын пысықтау және оңтайландыру.

Метод spin-coating, отжиг, программа электронно-литографической системы NanoMaker, сканирующий электронный микроскоп Quanta 3D 200i, экспонирование, плазменное/ионное травление, методика контролируемого нанесения тонких слоев, метода термического испарения.

Spin-coating әдісі, күйдіру, NanoMaker электронды литографиялық жүйесінің бағдарламасы, Quanta 3D 200i сканерлеуші электронды микроскоп, экспозициялау, плазмалық / иондық ою, жұқа қабаттармен бақылап қаптау әдісі, термиялық булану әдісі.

Исследована возможность и найдены оптимальные условия реализации нового технологического подхода на основе наноселективной привитой полимеризации с использованием различных источников излучения и различных материалов подложки (кварц, кремний и полимер). Исследовано пространственное разрешение, определена и охарактеризована производительность нового технологического подхода. Исследована чувствительность наноструктурированного сенсора влажности. Принципиальное отличие идеи проекта от существующих аналогов заключается в том, что с целью сокращения времени на технологическую операцию и увеличения производительности впервые будет использовано облучение изделия перед наращиванием функционального слоя. Впервые будет использовано наноструктурирование металлического слоя с целью увеличения чувствительности метода SPR imaging и ДНК анализа.

Әр түрлі сәулелену көздерін және әр түрлі субстрат материалдарын (кварц, кремний және полимер) қолдана отырып, наноселективті транспланттық полимерлеуге негізделген жаңа технологиялық тәсілді жүзеге асырудың оңтайлы шарттары зерттелді және табылды. Кеңістіктік ажыратымдылық зерттелді, жаңа технологиялық тәсілдің өнімділігі анықталды және сипатталды. Наноқұрылымды ылғалдылық сенсорының сезімталдығы зерттелді.

Настоящие исследования посвящены разработке новой потенциально более производительной технологии наноструктурирования и ее применения к изготовлению чувствительных наносенсоров. А также исследования посвящены применению метода электронно-лучевой литографии для создания элементов наноплазмоники с целью повышения чувствительности метода SPR-imaging (Surface Plasmon Resonance) и создания защитных элементов с целью усиления защиты монет, слитков и изделий из драгоценных металлов, придания им эстетического вида.

Бұл зерттеу жаңа әлеуетті неғұрлым өнімді наноқұрылымдық технологияны дамытуға және оны сезімтал наносенсорларды өндіруге қолдануға арналған. Зерттеулер сонымен қатар SPR-бейнелеу (Surface Plasmon Resonance) әдісінің сезімталдығын арттыру мақсатында наноплазмоникалық элементтерді жасау үшін электронды-сәулелік литографияны қолдануға арналған және бағалы металдардан жасалған тиындарды, құймаларды және бұйымдарды қорғауды күшейту, оларға эстетикалық көрініс беру мақсатында қорғаныс элементтерін жасау. Жоба идеясының қолданыстағы аналогтардан түбегейлі айырмашылығы-технологиялық операцияға уақытты қысқарту және өнімділікті арттыру мақсатында функционалды қабатты құрмас бұрын өнімді сәулелендіру алғаш рет қолданылады. Алғаш рет металл қабатының наноқұрылымдауы SPR бейнелеу әдісі мен ДНҚ талдау әдісінің сезімталдығын арттыру мақсатында пайдаланылады.

не внедрено

енгізілген жоқ

Развитие данного направления позволит занять передовые позиции и поднять научно-технический потенциал и конкурентоспособность среди научных организаций и производственных предприятий Казахстана, занятых в сфере высоких технологий.

Бұл бағытты дамыту жоғары технологиялар саласында жұмыс істейтін Қазақстанның ғылыми ұйымдары мен өндірістік кәсіпорындары арасында озық позицияларға ие болуға және ғылыми-техникалық әлеует пен бәсекеге қабілеттілікті арттыруға мүмкіндік береді.

Результаты проекта важны как для развития новых высокопроизводительных планарных технологий наноструктурирования, так и для существенного улучшения чувствительности метода SPR imaging и ДНК анализа.

Жобаның нәтижелері жаңа жоғары өнімді жазық наноқұрылымдау технологияларын әзірлеу үшін де, SPR бейнелеу әдісі мен ДНҚ талдау әдісінің сезімталдығын айтарлықтай жақсарту үшін де маңызды.

UDC indices
538.911
International classifier codes
29.19.22;
Key words in Russian
наноселективное структурирование; электронно-лучевая литография; наноплазмоника; голограммы; наносенсоры;
Key words in Kazakh
нано селективті құрылымдау; электронды-сәулелік литография; наноплазмоника; голограммалар; наносенсорлар;
Head of the organization Айтжанова Жамила Нурматовна Доктор экономических наук / ассоциированный профессор (доцент)
Head of work Муратов Мухит Мухаметнурович Доктор PhD / Ассоциированный профессор (Доцент)