The object of research, development or design (in Russian) : Создание FTS магнетронной установки, слои poly-Si, ITO и AZO, структуры Si/SiOx/poly-Si(n)/TCO.

The object of research, development or design (in Kazakh) : FTS магнетрондық қондырғысын құру, poly-Si, ITO, AZO қабаттары, Si/SiOx/poly-Si(n)/TCO құрылымдары.

Aim of work (in Russian) : Создание уникальной установки FTS магнетронного осаждения для формирования высокоэффективных TOCPCon кремниевых солнечных элементов без этапов, включающих в себя использование токсичных газов. Исследование влияния различных параметров осаждения на физические свойства пленок Si, ITO и AZO.

Aim of work (in Kazakh) : Улы газдарды пайдалануды қамтитын қадамдарсыз жоғары тиімді TOCPCon кремнийлі күн батареяларын қалыптастыру үшін бірегей FTS магнетронды шашырату қондырғысын құру. Әр түрлі тұндыру параметрлерінің Si, ITA және AZO пленкаларының физикалық қасиеттеріне әсерін зерттеу.

Методы исследования (на русском) : Детали и вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали марки AISI 304. Изготовление деталей для установки магнетронного распыления с FTS конфигурацией производилось на имеющихся фрезерных и токарных станках. Перед сборкой проводилась механическая полировка. Для испытания вакуумной камеры и устранения течи использован вакуумный течеискатель.

Методы исследования (на казахском) : Бөлшектер мен вакуумдық камера AISI 304 маркалы тот баспайтын болаттан жасалған. FTS конфигурациясы бар магнетронды бүркуді орнатуға арналған бөлшектерді дайындау қолда бар фрезерлік және токарлық станоктарда жүргізілді. Құрастыру алдында механикалық жылтырату жүргізілді. Вакуумдық камераны сынау және ағынды жою үшін вакуумдық ағын детекторы қолданылады.

Obtained results and novelty (in Russian) : В ходе реализации проекта согласно пунктам 1.1-1.3 календарного плана выполнены работы по сборке установки магнетронного распыления с FTS конфигурацией из изготовленных деталей и приобретенных материалов и оборудования. Получена уникальная установка позволяющая одновременно варьировать широкий ряд параметров осаждения, включая: расстояние между мишенями, расстояние между мишенями и подложкой, давление, скорость подачи газов, мощность распыления, режим распыления и пр.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Жобаны іске асыру барысында күнтізбелік жоспардың 1.1-1.3-тармақтарына сәйкес дайындалған бөлшектер мен сатып алынған материалдар мен жабдықтардан FTS конфигурациясы бар магнетронды бүрку қондырғысын құрастыру бойынша жұмыстар орындалды. Тұндыру параметрлерінің кең ауқымын бір уақытта өзгертуге мүмкіндік беретін бірегей қондырғы жасалды, соның ішінде: нысаналар арасындағы қашықтық, нысаналар мен субстрат арасындағы қашықтық, қысым, газ беру жылдамдығы, бүрку қуаты, бүрку режимі және т.б.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Полученная установка магнетронного распыления с FTS конфигурацией позволит впервые получить качественным пленки без использования токсичных газов и без нанесения урона подложке во время распыления.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : FTS конфигурациясы бар магнетронды бүрку қондырғысы алғаш рет улы газдарды қолданбай және бүрку кезінде субстратқа зақым келтірместен сапалы қабықшаларды алуға мүмкіндік береді.

Level of implementation (in Russian) : Полученная установка магнетронного распыления с FTS конфигурацией будет использована в технологической линии производства эффективных кремниевых солнечных элементов ЛАЭиН, АО «КБТУ». Кроме того, установка будет использоваться для исследований студентов, магистрантов и докторантов PhD Школы материаловедения и зеленых технологий КБТУ.

Level of implementation (in Kazakh) : Алынған FTS конфигурациясы бар магнетронды бүрку қондырғысы ЛАЭиН ("ҚБТУ" АҚ) тиімді кремнийлі күн батареяларын өндірудің технологиялық желісінде пайдаланылатын болады. Сонымен қатар, қондырғы ҚБТУ материалтану және жасыл технологиялар мектебінің студенттерін, магистранттарын және PhD докторанттарын зерттеулер үшін пайдаланылатын болады.

Efficiency (in Russian) : Полученная установка магнетронного распыления с FTS конфигурацией предоставит возможность вести актуальные исследования, что способствует углублению знаний и развитию новых технологий. Студенты получат практический опыт работы с современным оборудованием, что повысит их конкурентоспособность на рынке труда. Возможность совместных исследований может привести к генерированию инновационных идей и проектов, что ускорит технологический прогресс в области зеленых технологий. Практическое применение теоретических знаний улучшит качество образования и подготовит студентов к реальным задачам в индустрии.

Efficiency (in Kazakh) : Алынған FTS конфигурациясы бар магнетронды бүрку қондырғысы білімді тереңдетуге және жаңа технологияларды дамытуға ықпал ететін өзекті зерттеулерді жүргізуге мүмкіндік береді. Студенттер заманауи жабдықтармен жұмыс істеудің практикалық тәжірибесіне ие болады, бұл олардың еңбек нарығындағы бәсекеге қабілеттілігін арттырады. Бірлескен зерттеу мүмкіндігі инновациялық идеялар мен жобалардың пайда болуына әкелуі мүмкін, бұл жасыл технологиядағы технологиялық прогресті жеделдетеді. Теориялық білімді практикалық қолдану білім сапасын жақсартады және студенттерді саладағы нақты міндеттерге дайындайды.

Field of application (in Russian) : Фотогальваника, наноматериалы и нанотехнологии

Field of application (in Kazakh) : Фотогальваника, наноматериалдар және нанотехнологиялар.