The object of research, development or design (in Russian) : Разработка высокочувствительных миниатюрных газовых сенсоров на основе МОП и улучшение их морфологических, электрических и оптических свойств, а также повышение чувствительности и времени отклика на токсичные газы.

The object of research, development or design (in Kazakh) : MOS негізіндегі жоғары сезімтал миниатюралық газ датчиктерін жасау және олардың морфологиялық, электрлік және оптикалық қасиеттерін жақсарту, сондай-ақ улы газдарға сезімталдық пен әрекет ету уақытын арттыру.

Aim of work (in Russian) : Целью данного проекта является разработка высокочувствительных миниатюрных газовых сенсоров на основе МОП и улучшение их морфологических, электрических и оптических свойств, а также повышение чувствительности и времени отклика на токсичные газы. Газовые сенсоры будут применяться в системах мониторинга газовой среды, мониторинга экологического состояния атмосферы, а также в горнорудной и нефтегазовой отраслях.

Aim of work (in Kazakh) : Жобаның мақсаты МОӨЖ негізінде жоғары сезімтал миниатюралық газ сенсорларын жасау және олардың морфологиялық, электрлік және оптикалық қасиеттерін жақсарту, сонымен қатар улы газдарға сезімталдық пен әрекет ету уақытын арттыру. Осыған байланысты жоғары сезімтал газ сенсорларын әзірлеу газды қоршаған ортаны қадағалау, атмосфераның экологиялық жағдайын бақылау жүйелерінде, тау-кен және мұнай-газ салаларында пайдаланылатын болады.

Методы исследования (на русском) : Для достижения цели ниже перечислены следующие методы: 1. Моделирование IDT электродов с помощью PVD частиц золота на поверхности специализированной подложки. 2. Синтез комплекса Zn1-xTixO тонких плёнок с помощью магнетронного напыления, а также с последующей термической обработкой. 3. Исследование влияние различной концентрации титана и толщины нано-пленок на структуру базового элемента ZnO. 4. Тестирование и исследование на газочувствительность синтезированных Zn1-xTixO тонких пленок при разных концентрациях газа и температуры.

Методы исследования (на казахском) : Мақсатқа жету үшін төменде әдістер келтірілген: 1. Мамандандырылған субстрат бетіндегі PVD алтын бөлшектерін қолдану арқылы IDT электродтарын модельдеу. 2. Магнетронды шашырату, сонымен қатар кейінгі термиялық өңдеу арқылы жұқа қабықтардың Zn1-xTixO кешенін синтездеу. 3. Әртүрлі титан концентрациясы мен нано-пленка қалыңдығының ZnO негізгі элементінің құрылымына әсерін зерттеу. 4. Синтезделген Zn1-xTixO жұқа қабықтарының газ сезімталдығын әртүрлі газ концентрациясы мен температурада сынау және зерттеу.

Obtained results and novelty (in Russian) : Были продолжены исследования на газочувствительность синтезированных Zn1-xTixO тонких пленок, а также вычислены и улучшены основные параметры газовых сенсоров при оптимальной рабочей температуре. А именно, чувствительность сенсорных материалов на основе Zn1-xTixO к NO газу при концентрации 1–100 ppm исследовалась при разных температурах от 27 до 300 °C. Отклик (газочувствительность) сенсоров рос с температурой и достигал максимума, а затем снижался при дальнейшем нагреве сенсорных материалов. Также, оптические свойства нанопленок определялись с помощью UV-Vis спектрофотометра в диапазоне длин волн 200-1000 нм. По измерениям Холла были оценены подвижность, концентрация носителей и удельное сопротивление нанопленок.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Синтезделген Zn1-xTixO жұқа қабықшаларының газға сезімталдығы бойынша зерттеулер жалғасты, оңтайлы жұмыс температурасындағы газ датчиктерінің негізгі параметрлері есептелді және жетілдірілді. Атап айтқанда, Zn1-xTixO негізіндегі сенсорлық материалдардың NO газына 1–100 ppm концентрациясында сезімталдығы әртүрлі температурада 27-ден 300° C-қа дейін зерттелді. Датчиктердің реакциясы (газ сезімталдығы) температураға қарай артып, максимумға жетті, содан кейін сенсор материалдарын одан әрі қыздыру кезінде төмендеді. Сондай-ақ, нанофильмдердің оптикалық қасиеттері 200-1000 нм толқын ұзындығы диапазонында UV-Vis спектрофотометрінің көмегімен анықталды. Холл өлшемдерінен нанофильмдердің қозғалғыштығы, тасымалдаушы концентрациясы және кедергісі бағаланды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Тонкие пленки на основе цинка легированы титаном были распылены с помощью системы магнетронного напыления на постоянном токе. Для распыления были использованы мишени из цинка оксида и титана диаметром 2 дюйма с чистотой 99,99% по основе и конструкций от фирмы Kurt J. Lesker Company.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : Титан қоспасы бар мырыш негізіндегі жұқа қабықшалар тұрақты ток магнетронды шашырату жүйесі арқылы алынды. Шашырату үшін диаметрі 2 дюйм болатын мырыш оксиді титан тазалығы 99,99% болатын нысаналары Kurt J. Lesker компаниясының конструкциялары негізінде қолданылды.

Level of implementation (in Russian) : не внедрено

Level of implementation (in Kazakh) : жүзеге асырылмаған

Efficiency (in Russian) : Синтез комплекса Zn1-xTixO наноплёнок с помощью магнетронного напыления с последующей термической обработкой является прецизионным методом которое позволяет получить высокочувствительные и более дешёвые наноматериалы для газовых сенсоров.

Efficiency (in Kazakh) : Zn1-xTixO нанофильмдер кешенін магнетронды шашырату жәнде термиялық өңдеу арқылы газ датчиктері үшін жоғары сезімтал және арзанырақ наноматериалдарды алуға мүмкіндік беретін өте дәл әдіс болып табылады.

Field of application (in Russian) : Газовые сенсоры могут использоваться для создания электронных устройств, позволяющих регистрировать и классифицировать наличие газов в воздухе и анализировать запахи.

Field of application (in Kazakh) : Газ датчиктерін ауадағы газдардың болуын тіркейтін және жіктейтін және иістерді талдайтын электрондық құрылғыларды жасау үшін пайдалануға болады.