Inventory number IRN Number of state registration
0323РК00628 AP14869293-KC-23 0122РК00807
Document type Terms of distribution Availability of implementation
Краткие сведения Gratis Number of implementation: 0
Not implemented
Publications
Native publications: 1
International publications: 2 Publications Web of science: 1 Publications Scopus: 1
Patents Amount of funding Code of the program
0 23738307.5 AP14869293
Name of work
Исследование влияния аберраций высших порядков, релятивистских и дифракционных эффектов на качество фокусировки линзово-зеркальных корректоров аберраций
Type of work Source of funding Report authors
Fundamental Бимурзаев Сеиткерим Бимурзаевич
0
1
0
0
Customer МНВО РК
Information on the executing organization
Short name of the ministry (establishment) МЦРОАП РК
Full name of the service recipient
Некоммерческое акционерное общество "Алматинский университет энергетики и связи имени Гумарбека Даукеева"
Abbreviated name of the service recipient НАО АУЭС имени Гумарбека Даукеева
Abstract

Объекты исследования -Линзово-зеркальные системы, обеспечивающие высокое качество фокусировки при учете аберраций высших порядков, релятивистских и дифракционных эффектов и выполняющих роль зеркального объектива электростатического электронного микроскопа или корректора аберраций объектива высоковольтного электронного микроскоп

Жоғары ретті аберрацияларды, релятивистік және дифракциялық әсерлерді есепке алғанда жоғары сапалы фокустауды қамтамасыз ететін және электростатикалық электрондық микроскоптың айналық объективі немесе жоғары вольтты электрондық микроскоптың аберрациялық корректоры қызметін атқаратын линза-айналық жүйелер.

Цель проекта - изучение теоретических возможностей дальнейшего повышения разрешающей способности электронных микроскопов путем учета и минимизации совместного влияния аберраций высших порядков, релятивистских и дифракционных эффектов на качество фокусировки электронных пучков в линзово-зеркальных корректорах аберраций.

Жобаның мақсаты - жоғары ретті аберрациялардың, релятивистік және дифракциялық әсерлердің линза-айналық аберрация корректорларының электрондық сәулелерді фокустау сапасына біріккен әсерін есепке алу және азайту арқылы электрондық микроскоптардың ажырату қабілетін одан әрі арттырудың теориялық мүмкіндіктерін зерттеу.

Метод центральной частицы, метод Винера-Хопфа, метод параметризации точных уравнений электронных траекторий

Орталық бөлшек әдісі, Винер-Хопф әдісі, электрондар траекторияларының дәл теңдеулерін параметрлеу әдісі

Разработано программное обеспечение для расчета качества фокусировки электронных пучков с учетом аберраций высших порядков, релятивистских и дифракционных эффектов в линзово-зеркальных системах, включающее алгоритм решения методом Винера-Хопфа задачи о распределении поля в электростатическом зеркале с электродами реальной конструкции, отвечающими повышенным требованиям высоковольтной электронной микроскопии к их электрической прочности при высоких напряженностях электростатического поля. На основе разработанного программного обеспечения рассчитано: 1) электростатическое поле круглого цилиндра с конечной шириной щели; 2).определены геометрические и электрические параметры трехэлектродного электростатического зеркала вращательной симметрии с конечной шириной межэлектродных зазоров, обеспечивающие высокое качество фокусировки при учете аберраций высших порядков, релятивистских и дифракционных эффектов и выполняющих роль зеркального объектива электростатического электронного микроскопа.

Құрамына жоғары вольтты электрондық микроскопияның жоғары кернеулі электростатикалық өрістің электрлік беріктікке қоятын талаптарын қанағаттандыратын нақты электродтары бар электростатикалық айнадағы өрісті Wiener-Hopf әдісін қолданып табу алгоритмі енген және релятивистік және дифракциялық әсерлермен қатар жоғары ретті аберрацияларды ескере отырып линзалық-айна жүйелеріндегі электрондық сәулелерді фокустау сапасын есептеуге арналған бағдарламалық қамтама құрылдыу. Әзірленген бағдарлама негізінде есептелінді: 1).электродаралық саңылау ені шектелген дөңгелек цилиндрдің электростатикалық өрісі; 2) электрондық микроскоптың объектив қызметін атқаратын электродаралық саңылауларының ені шектеулі айналмалы симметриялық үш электродты электростатикалық айнаның жоғары дәрежелі аберрацияларды, релятивистік және дифракциялық әсерлерді ескере отырып жоғары сапалы фокустауды қамтамасыз ететін геометриялық және электрлік параметрлері анықталынды.

Реализация теоретических возможностей высокого качества фокусировки в трехэлектродном электростатическом зеркале вращательной симметрии с конечной шириной щели, в котором обеспечена электрическая прочность при высоких напряженностях поля, присущих высоковольтной электронной микроскопии.

Жоғары вольтты электрондық микроскопияға тән жоғары өріс кернеулігінде электрлік беріктікті қамтамасыз ететін электродтардың нақты конструкциясы бар линза-айналық жүйелерде жоғары сапалы фокустаудың теориялық мүмкіндіктерін жүзеге асыру.

Результаты исследований позволяют значительно повысить разрешающую способность электронных микроскопов

Зерттеу нәтижелері электрондық микроскоптардың ажырату қабілетін айтарлықтай арттыруға мүмкіндік береді

Научное приборостроение, электронная микроскопия и масс-спектрометрия

Ғылыми аппаратура, электрондық микроскопия және масс-спектрометрия

UDC indices
537.533.33
International classifier codes
29.35.39;
Key words in Russian
электронный микроскоп; корректор аберраций; сферическая аберрация; хроматическая аберрация; релятивистский эффект; метод центральной частицы;
Key words in Kazakh
электрондық микроскоп; аберрациялық корректор; сфералық аберрация; хроматикалық аберрация; релятивистік әсер; орталық бөлшек әдісі;
Head of the organization Сыздыков Мурат Канатович Доктор философии (PhD) / нет
Head of work Бимурзаев Сеиткерим Бимурзаевич Доктор физико-математических наук / доцент (associate professor), ДЦ №0005163, 16.10.2002