The object of research, development or design (in Russian) : Вакуумная дуговая плазменная установка ВДУ-1, катодные материалы

The object of research, development or design (in Kazakh) : ВДУ-1 Вакуумдық доғалық плазмалық қондырғы, катодтық материалдар

Aim of work (in Russian) : Исследование режимов работы установки ВДУ-1 и условий распыления катодов

Aim of work (in Kazakh) : ВДУ -1 қондырғының жұмыс режимдерін және катодты шашырату жағдайларын зерттеу

Методы исследования (на русском) : Измерение электрических параметров установки, контроль давления, микроскопия материалов, расчеты

Методы исследования (на казахском) : Қондырғының электрлік параметрлерін өлшеу, қысымды бақылау, материалдарды микроскопиялау, есептеулер

Obtained results and novelty (in Russian) : Проведена модернизация электрической части установки вакуумной дуги. Исследован процесс распыления составных и интегральных катодов из меди и алюминия. Определены параметры распыления катодов при вариации режимов работы установки. Получены слои алюминия с пористой структурой, осажденные из плазмы дугового разряда при распылении алюминиевого катода при высоком вакууме.

Obtained results and novelty (in Kazakh) : Вакуумдық доғалық қондырғының электр бөлігі жаңартылды. Мыс пен алюминийден жасалған композиттік және интегралдық катодтарды шашырату процесі зерттелді. Катодты шашырату параметрлері қондырғының әртүрлі жұмыс режимдерімен анықталды. Кеуекті құрылымы бар алюминий қабаттары жоғары вакуумда алюминий катодын шашырату арқылы доғалық разряд плазмасынан тұндырылды.

The main constructive and technical economic indicators (in Russian) : Установка ВДУ-1 с объёмом камеры 20 л, предельное остаточное давление 2 10 -5 мбар, напряжения ХХ источника питания 340 В, мощность дуги 0,1 -2,5 КВт, диаметр катода 50 мм.

The main constructive and technical economic indicators (in Kazakh) : ВДУ-1 қондырғы камера көлемі 20 л, максималды қалдық қысымы 2 10 -5 мбар, қуат көзінің ХХ кернеуі 340 В, доғаның қуаты 0,1 -2,5 кВт, катодтың диаметрі 50 мм .

Level of implementation (in Russian) : проводятся ОКР

Level of implementation (in Kazakh) : ТКЖ отіп жатыр

Efficiency (in Russian) : Установка дуговой плазмы имеет высокую энергетическую эффективность благодаря импульсному режиму работы и позволяет осаждать слои с высокой скоростью при выборе соответствующего режима работы.

Efficiency (in Kazakh) : Доғалық плазмалық қондырғы импульстік жұмыс режиміне байланысты жоғары энергия тиімділігіне ие және сәйкес жұмыс режимін таңдау кезінде қабаттарды жоғары жылдамдықпен тұндыруға мүмкіндік береді.

Field of application (in Russian) : Материалы с пористой структурой могут использованы в машиностроении и энергетике для создания различных технологий и конструкций

Field of application (in Kazakh) : Кеуекті құрылымы бар материалдарды машина жасауда және энергетикада әртүрлі технологиялар мен конструкцияларды жасау үшін пайдалануға болады